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会议论文 Si基微纳集成光波导的理论设计
出处:第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议
摘要:提出了一种宽度从微米到亚微米、深亚微米、再到纳米级渐变的微纳集成结构光波导,并通过理论分析和模拟计算... 显示全部
关键词: 微纳集成 光波导 集成光学
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