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会议论文 MEMS微悬臂梁激励耦合非线性动力特性分析
出处:2004年全国振动工程及应用学术会议
摘要:在微电子机械系统(MEMS)中,存在着固有非线性、多能域耦合产生的非线性和一些尚未引起注意的机械非线性.静... 显示全部
关键词: 微电子机械系统 悬臂梁 参数激励 强迫激励 非线性动力
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