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会议论文 薄栅氧化层斜坡电压TDDB寿命评价
出处:中国电子学会可靠性分会第十二届学术年会
摘要:随着超大规模集成电路的不断发展,薄栅氧化层的质量对器件和电路可靠性的作用越来越重要.经时绝缘击穿(TDDB... 显示全部
关键词: 薄栅氧化物 击穿机理 斜坡电压法 寿命评价 集成电路 绝缘击穿 可靠性
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