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会议论文 两个Si、O混合系统势函数的分子动力学模拟现象
出处:2004年中国机械工程学会学术年会
摘要:在制作硅片的化学机械抛光中,纳米二氧化硅颗粒与加工硅片的相互作用决定了材料的去除方式.Umeno势和Watana... 显示全部
关键词: 势函数 分子动力学 二氧化硅颗粒 硅片 抛光
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