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学位论文 纳米尺度图形化衬底的制备及其在HVPE生长GAN中的应用
摘要:第三代化合物半导体材料GAN因为其优异的特性,得到了越来越多的关注和应用。但由于缺乏合适的衬底材料,通... 显示全部
关键词: 氮化镓
学位论文 新型氮氧复合埋层soi及其抗总剂量辐照研究
摘要:soi(silicon onlnsulator)材料作为抗辐照器件材料在国防、宇航等领域得到广泛应用.但由于绝缘埋层的引入,... 显示全部
关键词: 器件
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