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学位论文 面向高速精密定位的宏微复合直线平台优化设计与运动规划
摘要:微电子制造是关系国家安全与经济发展的重要行业。目前,新一代的微电子制造装备正面临高加速、高速、高精密... 显示全部
关键词: 高速精密定位 宏微复合 运动规划 [1113839]优化设计 直线平台
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