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学位论文 MEMS陀螺环境应力下退化及失效特性研究
摘要:近年来,随着微电子技术的发展,微机械陀螺已经成为新的研究领域,MEMS陀螺的可靠性成为研究的热点问题。本文... 显示全部
关键词: [3852455]微机械陀螺 温度/振动/冲击 失效机理 [2043125]失效模式 退化特性
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