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学位论文 用于铁电存储器的BI<,3.25>LA<,0.75>TI<,3>O<,12>薄膜生长与性能研究
摘要:铁电存储器是一种具有快速读写操作、低功耗、抗辐射等优异特性的非易失性存储器,有广阔的应用前景。掺LA... 显示全部
关键词: 铁电存储器 薄膜生长 非易失性存储器 钛酸铋 晶化度
学位论文 原子层沉积的研究及其计算机仿真
摘要:原子层沉积(ald)的自限制性和互补性致使该技术对薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力,所制备的薄膜保形性... 显示全部
关键词: 原子层沉积 生长速率 基片温度 计算机仿真 薄膜生长
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