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学位论文 低介电常数聚酰亚胺/纯硅沸石杂化膜的制备
摘要:聚酰亚胺(polyimide, PI)因集多种优异性能于一体而被广泛应用于电子电气产业中。随着高性能超大规模集成电... 显示全部
关键词: 聚酰亚胺 含氟聚酰亚胺 纯硅沸石纳米晶 杂化膜 介电常数
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