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学位论文 类金刚石薄膜的制备、电子结构及光学性能研究
摘要:本论文采用直流磁控溅射,以ar、ar与ch4或ar与n2为工作气体溅射高纯石墨靶材制备了dlc及dlc:n薄膜。通过... 显示全部
关键词: 类金刚石薄膜 碳膜 电子结构 表面形貌 光学带隙 直流磁控溅射 俄歇电子能谱
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