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学位论文 ICP等离子体增强化学气相沉积制备纳米粉体氮化硅特性研究
摘要:本论文主要研究了感应耦合等离子体增强化学气相沉积/(ICPECVD/)技术和反应主要由等离子体参数的分布特性以... 显示全部
关键词: 纳米粉末 等离子体密度
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