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学位论文 ULSI工艺中光学光刻技术及光刻机的应用技术研究
摘要:集成电路制造技术一直向高集成度、低成本方向发展,特征尺寸逐年下降,目前已进入ULSI时代。光学光刻技术... 显示全部
关键词: 工艺 光学光刻 光刻机 时间响应 重合精度 动态控制 移动标准偏差
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