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学位论文 衬底偏压对磁头表面超薄DLC膜的结构和性能的影响
摘要:本文以磁过滤真空阴极弧(Filtered Cathodic Vacuum Arc)技术制备的DLC薄膜为研究对象。通过改变衬底偏压和... 显示全部
关键词: 超薄类金刚石膜 磁过滤真空阴极弧 磁头 拉曼光谱 射线光电子能谱
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