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学位论文 液滴机械手的微操作方法研究与实现
摘要:随着微机电机械系统MEMS的发展,元器件也逐渐趋向小型化、薄型化发展趋势,对微操作技术提出了越来越更高的... 显示全部
关键词: 液滴机械手 [3842790]微操作 微小物体 姿态控制 释放
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