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学位论文 改善蓝宝石高温强度和透过率的镀膜技术研究
摘要:蓝宝石具有优异的光学、力学、热学性能,是3~5μm中波红外窗口的优选材料。但温度升高时,蓝宝石的强度急... 显示全部
关键词: 蓝宝石 增透保护膜系 磁控溅射 高温强度 氧化硅 氮化硅 镀膜工艺
学位论文 0.13微米铜互连工艺鼓包状缺陷问题的解决
摘要:按照摩尔定律,集成电路芯片上所集成的电路的数目,每隔18个月就翻一番,由于集成的电路的数目越多,芯片的尺... 显示全部
关键词: 铜互连 鼓包缺陷 氮化硅 蚀刻率
学位论文 Si/_3N/_4基陶瓷导弹天线罩材料的研究
摘要:本文以Si/_3N/_4基陶瓷复合材料在导弹天线罩上的应用为基础,针对Si/_3N/_4、BN、AlN等优良的介电性能及机... 显示全部
关键词: 氮化硅 氮化硼 氮化铝 天线罩 气氛压力烧结
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