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学位论文 外差干涉椭圆偏振测量的理论与实验研究
摘要:纳米级厚度薄膜在微电子、材料与化学工程、光学与激光技术等诸多科学领域有着广泛的应用。针对自动光度式... 显示全部
关键词: 外差干涉法 椭圆偏振测量技术 纳米薄膜 测量精度 误差分析
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