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学位论文 阻尼型柔顺铰链的基础理论与实验研究
摘要:为了满足纳米制造高速度和高精度的要求,微纳米精密定位平台,如原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)等... 显示全部
关键词: 约束层阻尼 梳状结构阻尼 压电分流阻尼 阻尼柔顺铰链及机构
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