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学位论文 面向加速度检测的MEMS微环谐振腔传感关键技术研究
摘要:微光机电系统(MOEMS)是近几年在MEMS技术中发展起来的一种新技术系统,它相比于传统的微机电器件可实现高... 显示全部
关键词: 微环谐振腔 悬臂梁 品质因数 微加速度计
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