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学位论文 一种基于MEMS的光电倾角传感器的设计及仿真
摘要:微机电系统(MEMS)是指可采用微机械加工技术批量制作的,集微传感器、微执行器以及信号处理、控制电路、接口... 显示全部
关键词: 微机电系统 倾角传感器 光电 液摆式
学位论文 激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计
摘要:微机电系统是集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体综合型系统,在国防、通信、汽车、... 显示全部
关键词: 微机电系统 激光多普勒 时频分析
学位论文 磁控人体胶囊式无线内窥镜的设计与实验研究
摘要:随着mems技术、通讯技术和计算机技术等多学科的发展,微创甚至无创越来越成为人们对于外科诊疗技术的追求... 显示全部
关键词: 图像采集 无线图像传输 磁控技术 无线内窥镜 微机电系统
学位论文 复合结构压阻式MEMS压力传感器研究
摘要:压阻式压力传感器作为最成功的微加工传感器之一,已经使用了几十年。它们从二十世纪六十年代引入,并随着新... 显示全部
关键词: 微机电系统 [772016]压阻式压力传感器 尺寸优化 [3853080]微加工 [3915912]温度漂移 [9151079]传感器灵敏度
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