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学位论文 平面3-RRR并联机构控制与宏微精密定位系统耦合特性研究
摘要:能够实现大行程纳米级定位的宏微复合精密定位系统在微型机电系统的制造与检测、大规模集成电路生产、生物... 显示全部
关键词: 宏微结合 平面3RRR机构 精密定位 [3211467]全闭环控制 宏微耦合
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