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学位论文 宏微复合运动平台的自抗扰控制策略研究
摘要:微电子制造装备技术的发展关乎国民经济发展,是我国先进制造能力、科技发展水平的综合体现。随着微电子封装... 显示全部
关键词: 宏微复合运动平台 摩擦 非线性弹性振动 [2130381]矢量控制 [3548567]自抗扰控制
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