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学位论文 宏微复合传动的精密Z轴平台设计与系统实现
摘要:随着电子制造装备及精密检测仪器不断向着高速高精度的方向发展,大行程、高速、高精度精密运动平台的性能成... 显示全部
关键词: 宏微复合传动 Z轴运动平台 [7857]大行程 高精度 [4036624]误差补偿
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