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学位论文 锰的硅化物薄膜及纳米结构在硅表面的外延生长
摘要:金属硅化物具有低电阻率和高温稳定性,其外延生长与传统的硅基集成电路(IC)工艺兼容,有望用作集成电路... 显示全部
关键词: 外延生长 超高真空扫描隧道显微镜 固相外延生长 反应外延生长 锰的硅化物纳米结构 纳米线
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