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学位论文 锰的硅化物薄膜及纳米结构在硅表面的外延生长
摘要:金属硅化物具有低电阻率和高温稳定性,其外延生长与传统的硅基集成电路(IC)工艺兼容,有望用作集成电路... 显示全部
关键词: 外延生长 超高真空扫描隧道显微镜 固相外延生长 反应外延生长 锰的硅化物纳米结构 纳米线
学位论文 锰和锰的硅化物纳米结构在si(111)-7×7重构表面的自组装
摘要:自组装的纳米结构可以突破传统光刻工艺的尺寸极限,在下一代微电子器件中具有重要的应用前景。外延生长的... 显示全部
关键词: 纳米结构 光刻工艺 微电子器件 硅化物 物理特性 固相外延生长
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