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学位论文 FBAR滤波器的仿真与制备研究
摘要:随着移动通信技术的发展,射频前端芯片中的滤波器已经成为了发展最快、最关键的模块,第五代通讯技术(5G)对... 显示全部
关键词: 薄膜体声波滤波器 单晶氮化铝 优化控件 [1160070]有限元仿真 键合倒装
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