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学位论文 微夹持理论与系统的研究
摘要:论文综述了微夹持器的研究进展、发展趋势和技术特点。总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技... 显示全部
关键词: 微夹持器 静电驱动 梳状驱动器 体硅工艺 有限元方法
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