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期刊文章 300mm硅片高精度真空传输系统设计
出处:组合机床与自动化加工技术
摘要:文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输... 显示全部
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期刊文章 工业机器人技术及其典型应用分析
出处:内燃机与配件
摘要:工业机器人是多自由度或者多关节机械手的机器装置,是靠控制能力和自身的动力将各种功能实现的一种机器,其... 显示全部
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期刊文章 预对准机与机械手相对坐标系标定
出处:机械设计与制造 2013年第7期185-187,共3页
摘要:在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差... 显示全部
关键词: 晶圆预对准机 晶圆传输机器人 建模仿真 标定方法 相对坐标系 误差补偿
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期刊文章 基于电流的力控制技术与安全保护研究
出处:组合机床与自动化加工技术
摘要:文章解决了电机电流进行机器人主动柔顺控制的问题,同时对七自由度关节一体机器人进行拖曳式示教实验。首先... 显示全部
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期刊文章 晶圆预对准系统误差仿真分析
出处:组合机床与自动化加工技术 2013年第2期11-13,18共4页
摘要:为了系统的研究各参数对晶圆预对准精度的影响,建立了晶圆边缘数据采集模型,实现了在不同条件下包括缺口... 显示全部
关键词: 晶圆预对准 偏心 缺口 转动中心偏置
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期刊文章 晶圆预对准系统建模及仿真
出处:机械设计与制造 2013年第3期184-187,共4页
摘要:为了对晶圆预对准过程进行建模及仿真,建立了晶圆边缘数据采集模型,其重点在于缺口模型的建立。首先采用分... 显示全部
关键词: 晶圆预对准 偏心 缺口 建模仿真
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期刊文章 SUS301L不锈钢激光搭接焊工艺参数对焊缝形貌的影响
出处:焊接
摘要:采用光纤激光器在3mm厚不锈钢薄板上进行非熔透型激光焊试验研究。获得了不锈钢光纤激光深熔焊功率密度阈值... 显示全部
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