聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 微光机械振动传感器的设计与制作
出处:微细加工技术 2006年第1期 61-64,共4页
摘要:采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基... 显示全部
关键词: 振动传感器 聚甲基丙烯酸甲脂 悬臂梁 光波导 灵敏度
在线阅读 下载全文
期刊文章 遗传算法在离轴四反光学系统设计中的应用
出处:光学精密工程
摘要:现有的光学设计软件多依赖初始结构的选取,故提出了一种基于遗传算法的四反射光学系统初始结构求解方法,... 显示全部
在线阅读 下载全文
期刊文章 MOEMS集成波长选择开关的设计及研究
出处:微纳电子技术
摘要:研究一种基于电磁驱动微光机电系统(MOEMS)光开关阵列的串联集成波长选择开关结构,经过理论分析与计算,得... 显示全部
在线阅读 下载全文
期刊文章 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作
出处:光子学报 2004年第6期 755-757,共3页
摘要:硅光栅的制作可以利用湿法腐蚀体硅工艺.湿法腐蚀利用硅的各向异性,由硅的晶面形成光栅工作凹槽,利用湿法工... 显示全部
关键词: 硅片 闪耀光栅 体硅技术 湿法腐蚀
在线阅读 下载全文
期刊文章 基于双直角分束器的反射式静态傅里叶光谱仪光学系统
出处:光学学报
摘要:基于双直角分束器设计了一种反射式静态傅里叶变换光谱仪光学系统,并搭建了样机。该光谱仪光学系统的分光装... 显示全部
在线阅读 下载全文
期刊文章 脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜
出处:微细加工技术 2007年第2期 24-27,共4页
摘要:应用脉冲电镀法在硅片上制备细晶粒镍铁合金薄膜,对电镀工艺参数与形成的沉积层的微观组织关系进行了探讨.... 显示全部
关键词: 硅基 镍铁薄膜 脉冲电流 晶粒
在线阅读 下载全文
期刊文章 双转子平面微电机定子制作工艺研究
出处:微细加工技术 2003年第1期 73-75,80,共4页
摘要:为减小平面微电机轴向尺寸,解决轴向单边拉力问题,制作了双转子平面微电机.定子采用平面结构,双面各呈辐射... 显示全部
关键词: 双转子 平面微电机 定子 孔引线 技术
在线阅读 下载全文
期刊文章 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计
出处:微细加工技术 2003年第4期 18-21,26,共5页
摘要:利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以... 显示全部
关键词: 闪耀光栅 偏晶向硅片 体硅 湿法腐蚀 微制造
在线阅读 下载全文
期刊文章 组合生成算法与多元线性回归相结合用于近红外光谱波长的优选
出处:分析化学 2004年第8期 1116-1119,共4页
摘要:分立波长型近红外光谱分析仪是光谱分析仪器中较为普及的一种快速成份定量分析仪,如滤光片型、发光二极管型... 显示全部
关键词: 组合生成算法 多元线性回归 近红外光谱 近红外光谱分析仪 定标模型 波长
期刊文章 纳米金表面修饰与表面等离子体共振传感器的相互作用研究
出处:物理学报 2010年第9期6532-6537,共6页
摘要:为了分析纳米金表面修饰对表面等离子体共振(SPR)的放大作用,以及其对传感器本身的影响,首先,基于色散介... 显示全部
关键词: 表面等离子体共振 生物传感器 纳米金 金属膜
在线阅读 下载全文
找到42条结果
`