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期刊文章 高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验
出处:光学精密工程 2019年第8期1774-1782,共9页
摘要:针对目前用于原子力显微镜的扫描定位平台带宽低、行程小、耦合性能差等问题,提出了一种基于柔性梁的高带宽... 显示全部
关键词: 精密定位平台 高带宽 优化设计 固有频率
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