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期刊文章 高功率脉冲磁控溅射技术沉积硬质涂层研究进展
出处:广东工业大学学报 2013年第4期1-13,共13页
摘要:高功率脉冲磁控溅射技术是最新发展起来并受到广泛关注的一种高离化率物理气相沉积技术,它利用较高的脉冲... 显示全部
关键词: 高功率脉冲磁控溅射技术 离化率 硬质涂层 反应溅射
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