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期刊文章 用于超精密隔振的稀土超磁致伸缩致动器设计
出处:仪器仪表学报 2004年第6期 766-769,共4页
摘要:介绍了超精密隔振平台的结构和振动控制原理,设计了稀土超磁致伸缩致动器作为驱动装置,并阐明致动器的结构... 显示全部
关键词: 超磁致伸缩致动器 线圈 轴向磁场 频率特性 稀土 隔振 驱动装置 超精密 原理 平台
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