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期刊文章 用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量
出处:华南理工大学学报:自然科学版 2005年第7期 28-31,共4页
摘要:以颗粒硅带为衬底,通过化学气相沉积法制备多晶硅薄膜作为太阳电池的活性层.为了改善硅带衬底的质量,引入区... 显示全部
关键词: 区熔 颗粒硅带 多晶硅薄膜 平整度 择优取向
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