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期刊文章 ECR-PECVD制备n型微晶硅薄膜的研究
出处:人工晶体学报 2010年第4期852-856,共5页
摘要:用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)的方法制备了磷掺杂微晶硅薄膜材料。通过Hall,Raman... 显示全部
关键词: 磷掺杂 微晶硅薄膜 霍尔测量
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