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期刊文章 脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜
出处:微细加工技术 2007年第2期 24-27,共4页
摘要:应用脉冲电镀法在硅片上制备细晶粒镍铁合金薄膜,对电镀工艺参数与形成的沉积层的微观组织关系进行了探讨.... 显示全部
关键词: 硅基 镍铁薄膜 脉冲电流 晶粒
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