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期刊文章 磁控溅射Al膜的AFM性能分析及其制备工艺研究
出处:物理实验 2007年第8期 42-46,共5页
摘要:用原子力显微镜(AFM)对直流溅射和射频溅射制备铝膜的表面粗糙度及颗粒大小进行了分析比较.实验结果表明... 显示全部
关键词: 铝膜 表面粗糙度 溅射功率 溅射时间
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期刊文章 铝膜电导率尺寸效应对其微波性能的影响
出处:金属学报 2008年第9期 1099-1104,共6页
摘要:采用中频磁控溅射法(MFMS)制备不同厚度的铝膜;利用直线型四探针法测量不同厚度铝膜的电导率,研究了铝薄... 显示全部
关键词: 铝膜 电导率 尺寸效应 微波吸收率 传输矩阵法
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