聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 薄膜厚度对钛酸钡类薄膜传感器敏感特性的影响
出处:电子元件与材料 2004年第10期 30-32,共3页
摘要:利用氩离子束溅射技术,分别在SiO2/Si衬底上淀积了0.5 μm、1μm和2μm的Ba1-xLaxNbyTi1-yO3薄膜,并探讨了... 显示全部
关键词: 电子技术 钛酸钡薄膜 湿敏 光敏 热敏 薄膜厚度
找到1条结果
`