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期刊文章 高质量ZnO薄膜的退火性质研究
出处:高技术通讯 2002年第12期 45-48,共4页
摘要:在LP-MOCVD中,我们利用Zn(C2H5)2作Zn源,CO2作氧源,在(0002)蓝宝石衬底上成功制备出c轴取向高度一致的ZnO薄... 显示全部
关键词: 薄膜 氧化锌薄膜 退火 光致发光 金属有机气相外延沉积
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