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期刊文章 H掺杂对ZnCoO稀磁半导体薄膜结构及磁性能的影响
出处:发光学报 2012年第4期 417-421,共5页
摘要:利用磁控溅射法,采用亚分子分层掺杂技术交替溅射Co靶和ZnO靶,在si衬底上制备了不同氢氩流量比的H:ZCO薄... 显示全部
关键词: 磁控溅射法 稀磁半导体 掺杂 金属团簇
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