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期刊文章 预硬化明胶酶蚀成像特性的研究
出处:光学学报 1997年第2期216-221,共6页
摘要:从预硬化重铬酸盐明胶光致抗酶蚀的成像机理出发,分析和推导了酶蚀成像特性曲线,并从实验上考察了几个主... 显示全部
关键词: 重铬盐酸明胶 蛋白酶 浮雕光学元件 光刻术
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