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期刊文章 ZAO薄膜的研究现状及发展趋势
出处:真空与低温 2001年第3期 125-129,共5页
摘要:针对目前ITO膜In、Sn等材料自然储量少、制备工艺复杂、有毒、稳定性差的缺点,提出了代替ITO膜的ZAO薄膜。... 显示全部
关键词: 薄膜 氧化锌 掺杂 透明导电氧化物薄膜 磁控溅射 性质 导电性能 应用 制备
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期刊文章 透明导电氧化物薄膜的研究进展
出处:表面技术 2003年第1期 5-7,共3页
摘要:综述了TCO薄膜的研究进展和应用前景.ITO薄膜是目前应用最广泛的薄膜,AZO薄膜是研究的热点,具有替代ITO薄膜... 显示全部
关键词: 制备方法 应用前景 透明导电氧化物薄膜
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