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期刊文章 轴对称磁场对电弧离子镀TiN薄膜结构及摩擦性能的影响
出处:金属学报 2011年第5期566-572,共7页
摘要:利用轴对称磁场增强电弧离子镀工艺制备TiN薄膜,对薄膜表面大颗粒尺寸、数量及大颗粒与薄膜的面积比进行了... 显示全部
关键词: 轴对称磁场 电弧离子镀 大颗粒 组织结构 摩擦性能
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