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期刊文章 PMOSFET的NBTI效应
出处:半导体技术 2005年第5期 62-66,27,共6页
摘要:随着工艺的发展,器件尺寸的不断缩小,PMOSFET受负温度不稳定性(NBTI)效应影响而失效的现象愈来愈严重,NBTI... 显示全部
关键词: 场效应晶体管 负温度不稳定性 栅氧化层可靠性 器件失效
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