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期刊文章 不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性
出处:光电工程 2006年第6期 37-40,52,共5页
摘要:在不同的氧分压下用电子柬热蒸发的方法制备了氧化锆薄膜。用扫描探针显微镜、X射线衍射仪和分光光度计分别... 显示全部
关键词: 氧化锆薄膜 氧分压 表面迁移率 薄膜特性
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