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期刊文章 光栅光调制器的表面弯曲度分析及实验
出处:光学学报 2009年第4期869-873,共5页
摘要:讨论了二维光栅光调制器阵列的表面弯曲度对衍射光学特性的影响。利用实测的表面结构数据建立了阵列模型,... 显示全部
关键词: 微光机电系统 光栅光调制器 衍射 表面弯曲度 对比度
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