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期刊文章 对向靶溅射制备NiCr—NiSi薄膜热电偶的动态特性研究
出处:真空科学与技术 1995年第5期 317-320,共4页
摘要:用对向靶溅射制备了NiCr-NiSi薄膜热电偶,实现了薄膜民分与靶材基本一致。对热电偶进行动态特性... 显示全部
关键词: 对向靶溅射 薄膜热电偶 时间常数
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