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期刊文章 微晶硅材料及其薄膜晶体管的研究
出处:电子器件 2008年第1期 130-134,共5页
摘要:本文在微晶硅材料性能研究的基础上制备了微晶硅薄膜晶体管(TFT)。发现微晶硅的柱状生长模式会导致其结构... 显示全部
关键词: 微晶硅 薄膜晶体管 结构和电学各向异性 自恢复现象
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