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期刊文章 微光机械振动传感器的设计与制作
出处:微细加工技术 2006年第1期 61-64,共4页
摘要:采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基... 显示全部
关键词: 振动传感器 聚甲基丙烯酸甲脂 悬臂梁 光波导 灵敏度
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