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期刊文章 ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜
出处:哈尔滨工程大学学报 2011年第6期 830-834,共5页
摘要:为消除紫外线对硅基薄膜太阳能电池的热损害,并进一步提高电池转换效率,提出在硅基薄膜太阳能电池顶部低温... 显示全部
关键词: 太阳能电池 薄膜 纳米硅
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期刊文章 热处理升温快慢对非晶硅中形成的纳米硅粒尺寸的影响
出处:量子电子学报 2002年第5期 461-466,共6页
摘要:含氢非晶硅薄膜经过快速热退火处理后,我们用拉曼散射和X-射线衍射技术对样品进行分析.我们的实验结果表明:... 显示全部
关键词: 纳米硅 拉曼散射 快速热退火 射线衍射 非晶硅薄膜
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期刊文章 反应蒸发制备nmSi—SiOx发光薄膜
出处:真空科学与技术 1999年第5期 331-335,共5页
摘要:报道了用真空反应蒸发制备nmSi/SiOx薄膜,制备出含有不同纳米尺寸硅颗粒的薄膜,研究了不同条件... 显示全部
关键词: 反应蒸发 发光 薄膜 纳米硅 氧化硅
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期刊文章 退火处理对激光诱导化学气相沉积制备纳米硅红外光谱的影响
出处:中山大学学报:自然科学版 2000年第S2期169-173,共5页
摘要: 研究激光诱导化学相沉积(LICVD)法制备纳米硅粒子的工艺过程,分析了影响纳米硅形成及尺寸的主要工... 显示全部
关键词: 纳米硅 激光诱导化学气相沉积 红外光谱
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期刊文章 硼掺杂纳米硅薄膜的热退火效应研究
出处:韩山师范学院学报 2011年第6期 41-45,共5页
摘要:采用等离子体增强化学气相沉积技术制备了硼掺杂氢化非晶硅薄膜,然后经过不同温度的热退火处理,获得硼掺... 显示全部
关键词: 硼掺杂 纳米硅 热退火 光学带隙
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