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期刊文章 脉冲偏压电弧离子镀Ti/TiN纳米多层薄膜的结构与硬度
出处:材料热处理学报 2005年第6期 49-52,共4页
摘要:采用脉冲偏压电弧离子镀设备在高速钢基体上沉积Ti/TiN纳米多层硬质薄膜,通过仅改变偏压幅值的方法进行对比... 显示全部
关键词: 脉冲偏压 电弧离子镀 纳米多层 硬质薄膜
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