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期刊文章 纯相位匹配滤波模式识别在光刻对位系统中的应用
出处:光电工程 2012年第10期54-58,共5页
摘要:针对光刻对准系统的微纳级对位精度,本文提出一种在图像相关识别的理论分析基础上,利用纯相位匹配滤波算法... 显示全部
关键词: 光刻 套刻对位 模式识别 纯相位匹配滤波器
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期刊文章 投影光刻系统中的掩模硅片相关识别对准技术
出处:量子电子学报 2012年第6期764-768,共5页
摘要:分析图像相关识别中的纯相位匹配滤波器的模式识别方法,利用该滤波器的相关识别位图计算算法,及其所具有... 显示全部
关键词: 激光技术 光刻 套刻技术 模式识别 纯相位匹配滤波器
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